一、微电机械系统MEMS（论文文献综述）
洪玮,柯璟,李衡,朱晓波,顾文华[1]（2019）在《自主学习教学方法的研究》文中研究指明本文提出下种探究式教学方法,将网络教育与课堂教育有机融合,综合运用现有的多种专业仿真软件,搭建"师生互动、实践教学"的教学平台;该方法指导学生利用网络先进与丰富的教学资源,加强学生自主学习;通过专题形式,让学生通过网络、仿真软件,相互配合,自主完成相关仿真与实践课题。
苏继龙,庄哲峰,陈学永,徐洪烟[2]（2009）在《MEMS微结构变形行为尺度效应的研究进展》文中提出微米尺寸驱动结构广泛应用于微机电系统（MEMS）和集成电路等微/纳米系统中。由于这些微米尺寸驱动结构的几何尺寸和其微结构尺寸均在微米至纳米范围,它们的弹性、塑性性能及其变形行为具有明显的尺度效应。简要概述了近年来国内外有关微米尺寸驱动结构的弹性性能和变形特性尺度效应的研究情况,介绍了高阶理论的发展和塑性应变理论与微极理论在尺度效应分析中的应用,并对MEMS今后需要重点研究的方向进行了展望。
胡巧燕,袁菁,李静,李宝军[3]（2005）在《4×4纵横交换微电机械系统光开关阵列》文中认为微电机械系统（MEMS）光开关是微电机系统技术与传统光学技术相结合的新型机械式光开关。采用纵横交换网络和通断型微镜实现4×4微电机械系统光开关阵列,利用球透镜单模光纤准直器作为微电机械系统光开关阵列的输入、输出端口。运用高斯光束耦合理论对光开关阵列插入损耗（IL）进行了理论计算,并对引起插入损耗的主要因素进行了分析。对于失调容限:输入与输出光纤准直器位置失调2μm,定位角度失调0.15°,微镜非垂直反射角度失调0.15°,制作了4×4微电机械系统光开关阵列,对其各个通道的插入损耗进行了实验测试,其中最大值为2.77dB。
金翠云,栗大超,靳世久,冯亚林,李一博,郝一龙[4]（2004）在《小波变换及其在MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中的应用》文中研究说明为测量微电机械系统（MEMS）谐振器的动态特性参数,根据MEMS谐振器运动图像的特点,将小波变换应用于MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中。基于模糊图像合成技术,利用小波变换对MEMS谐振器的模糊运动图像进行了增强及降噪处理,并结合传统的图像处理方法,提取MEMS谐振器的运动轨迹,最终获得了MEMS谐振器的特性参数,从而可为MEMS器件的设计提供重要参考。实验结果表明,利用小波变换的方法获得了更好的测量精度,测量重复性误差为100nm。
李应良,潘武[5]（2004）在《射频系统中MEMS谐振器和滤波器》文中研究表明介绍了目前国内外射频系统中所涉及的静电梳状谐振器、自由梁谐振器、薄膜声体波谐振器、腔结构谐振器、平行谐振器结构HF带通滤波器、折叠梁MF滤波器、分布传输线可调滤波器等MEMS谐振、滤波器件。对这些器件的结构原理、制造方法以及性能指标作了分析。把这些器件的性能指标和目前射频系统中谐振器、滤波器的性能要求进行比较,分析了这些器件的应用前景。最后,对基于MEMS技术的射频谐振器、滤波器发展作出展望。
刘峰[6]（2003）在《微电机械系统在光通信中的应用:现状和未来》文中进行了进一步梳理随着波分复用 （WDM ）网络的发展 ,光纤通信系统现已发展成一种复杂的多波长通信系统。由于光通信容量的愈益增加 ,人们寄希望于创新技术去实现光通信系统的巨大潜力 ,而微电机械系统 （MEMS）则是解决WDM网络中关键技术的最有竞争力的候选技术。其应用包括大尺寸光开关结构 （如光交叉连接器件、光插 /分多路传输器 ）和传输网络用各种类型的有源和无源光学组件 （如可调谐激光器和滤波器、色散补偿装置、放大增益匀衡器、偏振控制器及其他器件 ）。本文讨论了光通信用MEMS技术的开发现状、希望、面临的挑战及未来发展前景。重点讨论了基于MEMS的光交叉连接器。
宋晓舒[7]（2003）在《微电机械系统商业化的现状和未来展望》文中研究说明2 0世纪 70年代MEMS/MST技术开始进入人们的生活。它给新产品带来的希望和梦幻及其应用使人们的生活发生了革命性变化。许多将这种技术的商业化视为发展目标的新公司纷纷成立。然而几年后事实证明 ,实现该技术的商业化是一个艰难的过程。MEMS是一项可以实现的技术 ,同时也是一项破坏性技术 ,它注定要完全取代现有的人们所熟悉的经过严密论证的解决方案。一项新技术通常要具有明显的优越性 ,方可取代一项既定的技术。作为经验之谈 ,在可能采用新技术之前需要在一些重要的参数上 ,（如性能和成本上 ）具有 5倍的优势。现在市场上已经出现了几种MEMS器件 ,并已发展到重要的商业化阶段。其他几种技术正处于商业成功的边缘。MEMS器件的特性、主要生产厂商及如何克服MEMS实现商业化障碍的问题将得到深入研究。本文将预测这种技术的未来发展趋势。
韦定东,张兴周,于澎[8]（2002）在《基于MEMS光开关的光分插复用结构设计》文中研究说明光分插复用设备（OADM）是波分复用（WDM）全光网的关键设备,实现全光交换一直是OADM设备制造商追求的目标,微电机械系统（MEMS）技术的出现为全光交换带来了新的概念。用新型MEMS光开关构造了一种OADM设备。实验表明,这种基于MEMS光开关的OADM设备在构造复杂程度和切换时间上明显优于传统结构的OADM.
李文宇,马君显,杨淑雯[9]（2002）在《微光电机械系统在光通信中的应用》文中研究表明介绍微光电机械系统（MOEMS）技术在国内外的发展现状,通过多个应用实例和方案,展示了其在光通信领域的广阔应用前景.
谢世钟,陈明华,王国忠[10]（2002）在《光传送网中光开关器件的进展》文中研究说明随着波分复用技术的广泛应用和光联网的发展,光开关将成为组建未来光网络的关键器件。光开关的类型有光微电机械开关、马赫-曾德干涉仪型开关、热光效应光开关、液晶光开关、喷墨气泡光开关、光栅开关和声光开关等。文章概述了这些光开关的原理,并进而介绍了光开关器件的最新进展。
二、微电机械系统MEMS（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、微电机械系统MEMS（论文提纲范文）
（1）自主学习教学方法的研究（论文提纲范文）
| 0 引言 |
| 1 研究内容 |
| 2 研究方法 |
| 2.1 开放自主的学习方法 |
| 2.2 探究为主的学习模式 |
| 3 创新性及成效 |
| 3.1 创新性 |
| 1) 引入数字化教学 |
| 2) 追踪最新科研成果 |
| 3) 加强学生自主学习 |
| 3.2 成效 |
| 4 结语 |
（2）MEMS微结构变形行为尺度效应的研究进展（论文提纲范文）
| 0 引 言 |
| 1 微结构变形行为的尺度效应现象 |
| 2 非均质介质力学性能的尺度效应理论 |
| 3 微结构变形行为尺度效应的研究方法 |
| 4 结束语 |
（3）4×4纵横交换微电机械系统光开关阵列（论文提纲范文）
| 1 引 言 |
| 2 微电机械系统光开关阵列结构 |
| 3 高斯光束传输与耦合 |
| 1) 径向失调: |
| 2) 轴向失调: |
| 3) 角向失调: |
| 4 计算与分析 |
| 5 测试与结果 |
| 6 结 论 |
（4）小波变换及其在MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中的应用（论文提纲范文）
| 1 引 言 |
| 2 模糊图像合成技术的测量原理 |
| 3 小波变换的基本原理 |
| 4 小波变换在MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中的应用 |
| 4.1 MEMS谐振器模糊运动图像的增强 |
| 4.2 MEMS谐振器模糊运动图像的降噪 |
| 5 MEMS谐振器特性参数测量实验结果分析及讨论 |
| 6 结 论 |
（5）射频系统中MEMS谐振器和滤波器（论文提纲范文）
| 1 引 言 |
| 2 MEMS谐振器和滤波器研究的必要性 |
| 3 MEMS谐振器和滤波器 |
| 3.1 微机械谐振器 |
| 3.1.1 静电梳状结构谐振器[8-9] |
| 3.1.2 自由梁谐振器[10] |
| 3.1.3 薄膜体声波谐振器 |
| 3.1.4 腔结构微机械谐振器[13] |
| 3.2 微机械滤波器 |
| 3.2.1 HF (High Frequency) 微机械带通滤波器 |
| 3.2.2 折叠梁 (挠性梁) 微机械滤波器[16-17] |
| 3.2.3 分布式MEMS传输线微机械滤波器[18] |
| 4 MEMS谐振器和滤波器展望 |
（7）微电机械系统商业化的现状和未来展望（论文提纲范文）
| 1 引 言 |
| 2 MEMS的发展 |
| 3 层出不穷的新型器件 |
| 4 设计工具和制造过程 |
| 5 产品商业化的障碍 |
| 5.1 检测与封装 |
| 5.2 市场化 |
| 5.3 公开性 |
| 5.4 融资 |
| 5.5 专业团体 |
| 6 结 论 |
（8）基于MEMS光开关的光分插复用结构设计（论文提纲范文）
| 0 引 言 |
| 1 MEMS光开关的工作原理 |
| 2 全光网对OADM的要求 |
| 3 传统OADM 的结构 |
| 4 基于MEMS光开关OADM的设计 |
| 4.1 结构的设计 |
| 4.2 MEMS光开关控制电路的设计 |
| 5 实验结果与分析 |
| 5.1 系统复杂度与插入损耗比较 |
| 5.2 信道切换时间观察 |
| 6 结束语 |
（9）微光电机械系统在光通信中的应用（论文提纲范文）
| 1 微电机械系统和微光电机械系统 |
| 2 微光电机械系统在光通信中的应用实例 |
| 2. 1 铰链式自由旋转微反射镜的自由空间微机械光交换器件 |
| 2.2 一种二维自由空间光交换的基本方案[9] |
| 2. 3 一种n×n 注油式光交换器件[10] |
| 2.4 可编程 WDM上下路器[8] |
| 2.5 DMD实现多波长上下路滤波器方案[4] |
| 2.6 DMD实现数字式多波长可编程光衰减器方案[5] |
| 2. 7 其 他 |
| 结 语 |
四、微电机械系统MEMS（论文参考文献）
- [1]自主学习教学方法的研究[J]. 洪玮,柯璟,李衡,朱晓波,顾文华. 电气电子教学学报, 2019(03)
- [2]MEMS微结构变形行为尺度效应的研究进展[J]. 苏继龙,庄哲峰,陈学永,徐洪烟. 传感器与微系统, 2009(07)
- [3]4×4纵横交换微电机械系统光开关阵列[J]. 胡巧燕,袁菁,李静,李宝军. 中国激光, 2005(07)
- [4]小波变换及其在MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中的应用[J]. 金翠云,栗大超,靳世久,冯亚林,李一博,郝一龙. 光学精密工程, 2004(03)
- [5]射频系统中MEMS谐振器和滤波器[J]. 李应良,潘武. 光学精密工程, 2004(01)
- [6]微电机械系统在光通信中的应用:现状和未来[J]. 刘峰. 光机电信息, 2003(10)
- [7]微电机械系统商业化的现状和未来展望[J]. 宋晓舒. 光机电信息, 2003(01)
- [8]基于MEMS光开关的光分插复用结构设计[J]. 韦定东,张兴周,于澎. 应用科技, 2002(11)
- [9]微光电机械系统在光通信中的应用[J]. 李文宇,马君显,杨淑雯. 深圳大学学报, 2002(03)
- [10]光传送网中光开关器件的进展[J]. 谢世钟,陈明华,王国忠. 中兴通讯技术, 2002(04)